반도체 및 LCD용 몰딩히터(Molding Heater) 전문기업 (주)썸텍스(대표 임유동, www.ttsc.co.kr)는 이 분야 국산화에 나선 이후 거침없는 질주를 계속하고 있다.
날이 갈수록 대형화되는 반도체 웨이퍼와 LCD 공정특성을 감안할 때 뛰어난 성능의 몰딩히터는 필수적.
웨이퍼 및 LCD 패널 열처리를 제대로 하지 못할 경우 웨이퍼 소결 과정에서 발생되는 불균형한 입자충전이나 응력분포 가능성이 있어 전처리 공정의 핵심 분야로 떠오르고 있다.
“히터의 발열성능 못지않게 내(耐)부식성 확보가 중요합니다. 제조 공정에서 발생되는 강산성의 기체가 히터 외벽을 부식시켜 내구성을 떨어뜨리기 때문이죠.”
불과 몇 년 전만 해도 100% 수입에 의존했던 몰딩 히터 국산화에 나선 썸텍스는 지난 2003년 초 세라믹 몰딩히터 개발에 성공했다.
지난 98년까지 삼성반도체 연구소에서 반도체 장비와 공정 개발에 나섰던 임유동 대표는 주성엔지니어링에서 몰딩히터 개발을 진행, 썸텍스 창업에 나섰다.
“외국 제품의 경우 세라믹 하우징을 프라스틱 사출처럼 일체형으로 제작하는 벌크(bulk) 형태가 대부분으로 고가 제품입니다. 가격을 대폭 낮추고 성능을 향상시키기 위해 금속소재에 세라믹을 도포시킨 형태 개발에 나섰고 국내 반도체 및 LCD 장비업체에 공급하고 있습니다.”
썸텍스는 국내 세라믹 생산수준이 정밀 금형 가공기술을 확보하지 못해 새로운 형태의 하우징 개발에 나섰다.
이는 세라믹 분말을 소결 가공해 내(耐)부식성과 밀봉성능을 확보했지만 하우징 내부구조 및 열선배치 등의 가공기술이 부족했기 때문.
이에따라 썸텍스는 금속 소재에 세라믹을 도포시키는 방법을 생각해냈다.
반도체 제조장비용 핫플레이트의 부식방지방법 등 5건의 특허를 출원한 세라믹 도포 기술은 생산가격이 저렴할 뿐만 아니라 온도의 급상승 및 하강이 가능하고 내구성이 긴 것이 특징으로 주성엔지니어링을 비롯한 아토 등 반도체, LCD 장비메이커를 주요 매출처로 확보하고 있다.
“국산화는 어렵고 힘들지만 반드시 해야 할 일입니다. 세계 최고의 IT 강국이면서도 자립도가 부족한 것은 부품·소재 분야가 취약하기 때문입니다.”
20여명의 소수인원으로 올해 매출 50억원 달성이 기대되는 썸텍스는 금속표면의 세라믹화 등 차세대 제품 개발과 함께 300mm 반도체 및 6세대 LCD 핫 플레이트의 효율적인 생산을 위해 표준화 작업을 진행하고 있으며 국내시장 기반 위에 해외시장으로 매출처를 다변화 한다는 전략이다.
문의 : 031-221-3916
글·사진=박완신기자