육안 또는 자동광학검사로도 결함 측정이 불가능한 반도체 및 정밀 주조물의 내부구조물 등을 검사할 수 있는 이들 제품은 나노포커스 엑스선 발생장치와 영상증배관 등을 이용해 고해상도와 고배율의 3차원 영상을 얻을 수 있다고 회사측은 설명했다.
회사측 밝힌 자료에 따르면 나노포커스 엑스선 튜프를 국내 최초로 사용한 ‘SM 1160NFA’는 빗각투영법을 이용해 3차원 영상을 추출, 기존의 2차원 검사에서는 볼 수 없었던 BGA의 들뜸 현상이나 비아홀(Via hole)의 적층상태까지 정확하게 투영할 수 있다.
또 이전의 마이크로 포커스 엑스선 검사장비에 비해 선명한 해상도를 보인다.
6축을 구동시켜 실시간으로 완벽한 3차원 영상을 구현할 수 있는 ‘AXIS 3130’은 최신 영상저장 편집장치를 내장해 샘플링과정을 동영상 저장은 물론 프레임단위로 분할 재생이 가능하다.
특히 6개의 구동축이 모두 독립적으로 작동해 검사영역의 3차원 표현이 탁월해 고밀도 반도체 검사에서 스위치, 릴레이 등 모든 전장 및 전자부품, 정밀주조물 검사에 까지 활용이 가능하다.
다층 PCB검사장치인 ‘AXIS 090’은 다층 인쇄회로기판 패턴의 단락, 부정합, 드릴 홈 위치 확인 및 비아홀 적층상태 등 다중기판의 겹침 정도를 정밀하게 측정할 수 있다.
하드웨어적인 요소를 최대한 줄인 대신 소프트웨어를 보강해 편의성과 실용성이 높아졌고 엑스선 방출구를 특별히 설계해 방사선의 인체접촉을 차단했다.
이 회사 전영배 대표는 “비파괴 검사분야의 현장 경험을 바탕으로 축적된 기술력을 바탕으로 이번 제품이 개발됐다”고 밝혔다.
문의 : 02-839-7360