현대교정인증기술원, 5나노미터까지 측정 가능

제품시험인증 및 측정기 교정서비스 전문업체인 ㈜현대교정인증기술원(대표 이현희)은 새로운 개념의 미세먼지 입자측정기 나노파티클카운터(NPC. Nano Particle Counter)를 국내 최초로 개발했다고 최근 밝혔다.
이 제품은 반도체공정 중 클린룸내 미세먼지입자를 측정 또는 모니터링하는 장비로, 최소 65나노미터의 입자까지 측정 가능한 기존 제품에 비해 훨씬 미세한 5나노미터 입자까지 감지할 수 있으며 먼지농도가 높은 대기환경 관련분야의 측정장비로도 응용될 수 있다고 회사측은 설명했다.
크기 선별장치를 통해 동일한 크기의 미세 먼지입자를 골라낸 이후 입자계수장치가 그 개수를 세어 입자들의 크기분포를 측정하는 원리를 이용했으며 한양대 나노입자제어연구실과의 산학협력을 통해 국산화에 성공했다고 덧붙였다.
현대교정인증기술원측은 “NPC 개발로 수입대체 효과는 물론, 나노공정을 적용한 반도체 생산라인 관리에 획기적인 향상을 가져올 것으로 기대한다”고 말했다.
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