'일본 규제품목' EUV용 포토레지스트 생산시설 투자 유치
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'일본 규제품목' EUV용 포토레지스트 생산시설 투자 유치
  • 임춘호 기자
  • 승인 2020.01.09 13:28
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듀폰, 천안에 2800만달러 투자 확정 … "기술 확보·공급선 다변화“  

글로벌 화학소재기업인 듀폰이 한국에 극자외선(EUV)용 포토레지스트 생산시설을 구축한다.

포토레지스트는 일본의 수출규제 3개 품목 중 하나로, 이번 투자 유치는 해당 소재의 공급선을 다변화해 일본 의존도를 낮추는 데 크게 기여할 것으로 기대된다.

9일 산업통상자원부에 따르면 성윤모 산업부 장관은 8일(현지시간) 미국 실리콘밸리에서 듀폰의 존 켐프 사장과 별도 면담을 했다.

듀폰社 개요   [산업통상자원부 제공]

이 자리에서 듀폰은 “EUV용 포토레지스트 개발‧생산시설”의 한국 투자를 확정하고, 장상현 KOTRA Invest Korea 대표에게 2800만달러의 투자신고서를 제출했다

투자 지역은 이미 듀폰의 생산공장이 있는 충남 천안이고 투자 예상 기간은 2020∼2021년이다.

듀폰社 투자계획   [산업통상자원부 제공]
듀폰社 투자계획   [산업통상자원부 제공]

듀폰은 한국내 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아(유)를 통해 98년부터 천안에 2개의 공장을 가동하여 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산해왔다.

이번 투자는 듀폰이 반도체 극소형화에 필요한 차세대 제품·기술 개발 및 공급 다변화 요구에 부응하고, EUV용 포토레지스트 등 점차 성장중인 시장에 선제적으로 대응하기 위한 것이다.

일본은 지난해 7월 포토레지스트와 고순도 불화수소, 플루오린 폴리이미드 등 반도체·디스플레이 핵심 소재 3개 품목에 대한 수출규제를 단행했었다.

웨이퍼(기판) 위에 패턴을 형성하는 포토 리소그래피 공정에서 사용되는 감광성 재료인 포토레지스트의 경우 지난해 1∼5월 한국의 전체 수입액의 90% 이상이 일본산이었다.

다만 일본은 3개 규제 품목 중 포토레지스트의 대(對)한국 개별수출허가를 가장 먼저 내줬고, 지난달 20일에는 포토레지스트의 수출허가 방식을 개별허가에서 특정포괄허가로 완화한 바 있다. 한국으로의 수출을 규제하는 것은 자국 기업에도 타격을 줄 수밖에 없기 때문에 이와 같은 조치를 취한 것으로 해석된다.

산업부는 지난해 7월 일본 정부의 수출규제 조치 이후 핵심 소재·부품·장비의 공급 안정화를 위해 듀폰과 직접 접촉해 투자 유치를 협의해왔다.

정부와 지방자치단체, 코트라와 원팀(One Team)으로 듀폰과 투자 협상을 진행했으며 그 결과 한국이 경쟁국을 제치고 최종 투자처로 선정됐다.

EUV용 포토레지스트는 현재 주로 일본산 수입에 의존하고 있지만, 이번 투자 유치를 통해 미국, 유럽연합(EU) 기업으로 해당 품목의 공급선을 다변화하는 것이 가능해졌다.

국내 기업과의 상생협력이나 국내 소재·부품·장비 산업경쟁력을 강화하는 데도 기여할 전망이다.

성윤모 산업부 장관은 “최근 일본 정부의 EUV용 포토레지스트에 대한 특정포괄허가 허용  등 일본 수출규제 조치 해결에 일부 진전이 있었지만, 근본적인 해결방안으로 보기는 어려우며, 정부는 핵심 소재・부품・장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속해서 추진해 나갈 것”이라고 밝혔다
 


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