한국과학기술연구원(KIST) 박막재료연구센터의 윤석진(尹錫珍) 박사팀은 위치제어의 정밀도가 4나노미터로 기존 압전 리니어모터(50나노미터)에 비해 성능이 10배정도 뛰어나면서도 구조가 간단하고 소형·경량인 압전(세라믹) 리니어모터 개발에 성공했다고 5일 밝혔다.
이번 압전 리니어모터는 또 이동 속도가 초당 40cm로 미국에서 개발된 소형 압전 리니어모터보다 배 이상 빠르고 20㎑ 이상의 초음파 교류전원으로 구동하기 때문에 소음이나 전자파 장애가 없다는 강점도 지니고 있다.
정밀도가 나노미터에 이르는 압전 리니어 모터는 반도체 제조 장비, 정밀광학제어 장치와 정밀공작 기계 등 직전운동식 모터를 필요로 하는 산업 전반에 폭넓게 활용될 수 있다.